Entegris, Inc.
business verification: strong
Summary (日本語)
Entegrisは半導体材料サプライヤー。JSR/InpriaとEUVリソグラフィ用MOR特許のクロスライセンス契約を締結し、訴訟を解決。
Summary (English)
Entegris is a semiconductor materials supplier. It signed a cross-license agreement with JSR/Inpria for EUV lithography MOR patents, settling IP disputes.
Summary (繁體中文)
Entegris 是一家半導體材料供應商。它與 JSR/Inpria 簽署 EUV 微影技術金屬氧化物光阻劑(MOR)專利交叉授權協議,終止了專利訴訟。